技術(shù)文章
Technical articles氣體質(zhì)量流量控制器（MassFlowController,MFC）在半導(dǎo)體制造、生物工程、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。然而，對于非專業(yè)人士來說，MFC可能仍然是一個陌生的概念。今天我們就一起來深入了解這項技術(shù)的核心內(nèi)容及其重要性。一、什么是氣體質(zhì)量流量控制器？氣體質(zhì)量流量控制器是一種精密儀器，用于測量并控制氣體的質(zhì)量流量。它通常由傳感器、控制閥和電子電路組成。傳感器負責(zé)檢測實際流過的氣體質(zhì)量流量，然后將信號傳送給控制器；控制器根據(jù)預(yù)設(shè)值調(diào)整閥門開度，從而精確調(diào)節(jié)氣體...
熱式流量控制器（ThermalMassFlowController,TMFC）是一種用于精確測量和控制氣體流量的儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化工、生物醫(yī)藥、環(huán)保監(jiān)測等多個領(lǐng)域。相較于傳統(tǒng)的機械式流量計，熱式流量控制器具有諸多優(yōu)點，使其在多種行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用。本文將探討該設(shè)備的特點及其在不同行業(yè)的應(yīng)用優(yōu)勢。1.精確度高熱式流量控制器利用熱量傳遞原理來測量氣體的質(zhì)量流量。它通過加熱元件與氣體之間的熱交換來確定氣體的流動速率。這種方法不受氣體物理性質(zhì)（如溫度、壓力）的影響，因...
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